میکروسکوپ‌های الکترونی ابزاری مناسب و کارآمد برای کسب اطلاع از ساختار مواد در دنیای نانو هستند. آنها با توجه به ماهیت نور مرئی و اساس کار میکروسکوپ‌های نوری نسبت به این گونه میکروسکوپ‌ها ارجحیت دارند. همان طور که می‌دانید طول موج نور مرئی بین 400 تا 700 نانومتر است، در حالیکه دنیای نانو در محدوده اندازه 1 تا 100 نانومتر است. بنابراین با میکروسکوپ‌های نوری نمی‌توان مواد و ساختارهای با مقیاس نانو را با تفکیک‌پذیری یا رزولوشن بالا مشاهده کرد.
» فهرست مطالب:
مقدمه
مقایسه میکروسکوپ الکترونی با میکروسکوپ نوری
اجزای میکروسکوپ الکترونی
منابع تولید الکترون
تفنگ انتشار حرارتی
تفنگ انتشار میدانی
نحوه برهمکنش الکترون‌ها با نمونه
انواع عیوب تاثیرگذار در کیفیت تصویر میکروسکوپ الکترونی
منابع