مقدمه
نمونه هاي مناسب براي ميكروسكوپ TEM بايستي بسته به ولتاژ بالاي اعمالي ضخامتي در حدود چند صد نانومتر داشته باشند. يك نمونه ايده آل بايستي نازك باشد. نماينده عمق قطعه باشد، تمييز و صاف با دو سطح كاملاً موازي باشد به راحتي قابل حمل باشد، هادي بوده، عاري از جدايش (Segregation) سطحي باشد و Self-Supporting باشد. همه اين خواسته ها همواره برآورده نمي شوند تكنيك هاي آماده سازي معمولاً مناجر به توليد نمونه گوه اي شكل مي شوند كه داراي يك زاويه كوچك گوه هستند.
آماده سازي نمونه مي تواند نبه دو مرحله، آماده سازي ابتدايي و نازك سازي نهايي تقسيم شوند. آماده سازي اوليه از چند مرحله تشكيل شده كه البته برخي از آنها مي‌توانند حذف شوند.
آماده سازي اوليه نمونه
اولين گام در تهيه نمونه، بريدن يك تكه از نمونه اصلي است. در اين خصوص لازم است كه ديدگاه ها و نكات مورد مطالعه نيز مد نظر باشد. در مرحله اخير به احتمال زياد نمونه داراي حداقل دو سطح خشن بوده، ضخامت آن بسته به دستگاه و روش برشكاري است. يك اره با دندانه هاي ريز مي تواند زبري ها و حفراتي به اندازه حدود يك ميلي متر بر روي ساختار نمونه فلز نرم ايجاد نمايد. حداقل اين عيوب در صورت استفاده از ماشين هاي برشكاري جرقه هاي يا به بكارگيري چرخ هاي برنده الماسه و يا سيم هاي گردان به همراه استفاده از دوغاب سايشي، حاصل مي گردد.
انتخاب روش برش نمونه به ويژگي هاي آن بستگي دارد. در فصل دوم به انواع روش هاي برشكاري نمونه اشاره شده است.
آماده كردن سطوح صاف
بعد از اين كه ضخامت نمونه بريده شده به 5/0 تا 3 ميلي متر رسيد، لازم است كه سطوح نمونه به صورت صاف و موازي درآيند. بدين منظور از ماشين هاي سنگ زني، سنباده زني و پرداخت كاري استفاده مي شود. براي به حداقل رساندن عيوب ايجادي در سطح نمونه، استفاده از ساينده نرم و ريزدانه توصيه شده است. ورقه‌هايي از نمونه با سطوح موازي و به ضخامت 
100 (و كمتر) در اكثر موارد با استفاده از پرداخت كاري با پودرهاي ساينده اي با دانه بندي 600 بدست خواهد آمد. اگر تنها به نمونه‌اي پولكي شكل با قطر 3 ميلي متر نياز باشد، در شرايط صنعتي مي توان از صفحات گردان استفاده به عمل آورد. با به كارگيري وسايلي دقيق تر و پيشرفته تر از اين دست مي توان به ضخامت هايي كمتر از 50 نيز دست يافت. با استفاده از چرخ هاي ساينده و پرداخت كاري اين امر قابل حصول است.